Das Projekt "Teilvorhaben: Erstellung einer CIGSSe Demonstratoranlage" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Singulus Technologies AG durchgeführt. Im Teilvorhaben 'Erstellung einer CIGSSe Demonstratoranlage' (SINGULUS) des Verbundvorhabens CIS-Clustertool (Projektleitung AVANCIS) wird eine modulare Laboranlage (Cluster mit Prozessmodulen) zur Erforschung der Bildung und Selenisierung/Sulfurierung von CIGSSe Halbleiterschichten auf Minisolarmodulen der Laborgröße 300x300mm2 konstruiert und gebaut. In der ersten Ausbaustufe werden ein Modul zum Aufdampfen einer Selenschicht und eine Kammer zum raschen Aufheizen des Substrates (RTP) fertiggestellt und zur Projektmitte an AVANCIS übergeben. In der zweiten Ausbaustufe wird das Cluster um ein weiteres Modul mit einem alternativen Heizkonzept vergrößert. Für die vorgesehenen Heizmodule werden die vom Verbundpartner HERAEUS bereitgestellten Heizstrahler eingesetzt. Die vom Verbundpartner IFG zu entwickelnde Messtechnik wird ebenfalls in das Cluster integriert werden. Die dreijährige Projektphase gliedert sich im Wesentlichen in sechs Arbeitspakete: Quartal 1. 1: Erstellung eines Pflichtenheftes für die Plattform und die Prozessmodule durch alle Partner; Q 1. 2-2. 2: Konstruktion der Plattform und der Basisprozessmodule mit nachfolgender Herstellung; Q 2. 1-2. 2: Funktionsinbetriebnahme der Plattform mit Basismodulen; Q2. 2: Aufbau und Übergabe an AVANCIS; Q 2. 1-3. 1: Erweiterung der Plattform um ein weiteres Heizmodul bestehend aus Konstruktions- und Herstellungsphase sowie Integration in die Plattform bei AVANCIS; Q 2. 2-3. 4: Optimierung der Plattform und der Einzelmodule