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Teilprojekt: Entwicklung eines Offline-Verfahrens für TCO-Schichten aus SnO2:F

Das Projekt "Teilprojekt: Entwicklung eines Offline-Verfahrens für TCO-Schichten aus SnO2:F" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von SAINT-GOBAIN SEKURIT Deutschland GmbH & Co. KG, Werk Herzogenrath durchgeführt. Neue Generation photovoltaischer Zellen - den Silizium-Dünnschichtsolarzellen. Diese haben großes Potenzial, in naher Zukunft kostengünstigen und umweltfreundlichen Solarstrom zu liefern. Unser Aufgabengebiet umfasst die intensive Materialforschung sowie die Prozesstechnologie und die Entwicklung innovativer Konzepte für Silizium-Dünnschichtsolarzellen. Farbsensoren auf der Basis von Dünnschicht-Silizium bilden einen weiteren Schwerpunkt unserer Forschungsaktivitäten.

Teilvorhaben: Entwicklung des Regelkonzepts

Das Projekt "Teilvorhaben: Entwicklung des Regelkonzepts" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Forschungszentrum Jülich GmbH, Institut für Energie- und Klimaforschung (IEK), IEK-5: Photovoltaik durchgeführt. Die Qualität der TCO-Schichten ist entscheidend für den Wirkungsgrad von Silizium-Dünnschicht-Solarmodulen. Neben der elektrischen Leitfähigkeit und der Transparenz ist die Oberflächenrauigkeit von entscheidender Bedeutung. Während leitfähige und transparente TCO-Schichten zuverlässig herstellbar sind, können geeignete Oberflächen nur in einem engen Prozessfenster eingestellt werden. Die Lichtstreuung der rauen TCO-Schicht lässt jedoch Rückschlüsse auf die Oberflächenrauigkeit sowie das zu erwartende Lighttrapping in der Solarzelle zu. Ziel des Vorhabens ist die Entwicklung eines Mess- und Regelkonzepts für die Qualitätskontrolle und -sicherung durch eine Prozessregelung in der Produktion von gesputtertem und geätztem ZnO sowie Siliziumdünnschichtsolarmodulen. In Jülich wird ein bestehendes Messsystem erweitert und eine Vielzahl von TCO-Proben systematisch untersucht. Das Messprinzip basiert auf einer zweidimensionalen Erfassung der lateral abgelenkten Lichtstrahlen durch einen Kamerachip. Dies ermöglicht eine schnelle Datenerfassung und stellt eine Vielzahl an Daten bereit. Aus der Korrelation der Lichtstreuung mit Solarzelleneigenschaften wird eine Qualitätsbewertung der TCO-Schichten bereits vor der Absorberprozessierung möglich. Aus den Erfahrungen zum Zusammenhang zwischen Präparation und Schichteigenschaften entwickelt Jülich ein Regelkonzept zur Steuerung der TCO-Herstellung sowie eine an das jeweilige TCO angepassten Solarzellenherstellung.

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