Das Projekt "Neue Verfahrensschritte zur Wirkungsgradverbesserung von MIS-Solarzellen" wird/wurde gefördert durch: Bundesministerium für Bildung, Wissenschaft, Forschung und Technologie. Es wird/wurde ausgeführt durch: Technische Universität Chemnitz, Zentrum für Mikrotechnologien.Verbesserung des Wirkungsgrades der MIS-Inversionsschicht-Solarzelle, insbesondere der Parameter Leerlaufspannung und Fuellfaktor. Als neue Verfahrensschritte sind die Kurzzeitoxidation ueber 650 Grad Celsius zur Erzeugung eines verbesserten Tunneloxid am MIS-Kontakt, das Einlegieren des Aluminium-Rueckkontakts in Verbindung mit diesem RTO-Prozess und die Nutzung quantifiziert aufgebrachter statischer Oberflaechenladungen im Solarzellenaufbau bzw in der zugehoerigen elektrischen Messtechnik vorgesehen. Dazu gehoert auch die vertiefte Analyse ohmscher Verluste am Rueckkontakt.
