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Keramische Hartstoffschichten bzw Materialien aus der Gasphase mit hoher Haftfestigkeit und mechanischer Festigkeit

Das Projekt "Keramische Hartstoffschichten bzw Materialien aus der Gasphase mit hoher Haftfestigkeit und mechanischer Festigkeit" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von NUKEM, Geschäftsbereich Solar- und Oberflächentechnik durchgeführt. Versuche zur Herstellung duenner Schichten aus SiN3, Zr2O3 und diamantenem Kohlenstoff

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