Das Projekt "Forschungsprämie: Evaluierung der p-Dotierung von ZnO durch Sputterverfahren" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Universität Stuttgart, Institut für Physikalische Elektronik durchgeführt. Evaluierung der p-Dotierung von ZnO durch Sputterverfahren. ZnO soll zunächst mit elementarem Phosphor dotiert werden. Untersuchung der Herstellung vom Ausgangsmaterial (Target). Schichtherstellung, Parametervariationen. Untersuchung der Leitfähigkeit, temperaturabhängig, Leitungstyp mit Thermokraft und Hallmessungen, Transmission, Zusammensetzung und Morphologie mit XPS, (SIMS), XRD.