Das Projekt "Beschichtung von flexiblen Substraten mit a-Silizium-pin-Solarzellen mittels einer VHF-PECVD Durchlaufanlage" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Technische Universität Dresden, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik durchgeführt. Das Gesamtziel des Vorhabens besteht in der Weiterentwicklung eines hochproduktiven dynamischen Verfahrens zur Abscheidung von a-Silizium-Solarzellen auf flexiblen Polmerfolien auf der Basis einer VHF-Plasma-CVD-Durchlaufanlage. Das Vorhaben beinhaltet die Entwicklung einer Technologie zur Herstellung einfacher pin-Solarzellen auf flexiblem Bandsubstrat einschließlich der Bearbeitung von Rolle auf Rolle. Das beantragte Projekt nutzt die Erfahrungen und Erkenntisse zweier Projekte (Forschungsvorhaben 0329563C und 0329563D). Im Rahmen dieser Projekte entstand in Zusammenarbeit mit der Technischen Universität Dresden und der FAP GmbH Dresden eine Vierkammerversuchsanlage (Investitionsvolumen ca. 1 Mio. Euro). Die Anlagenmodule sind bereits jetzt soweit entwickelt, dass auf ihrer Basis Pilotanlagen aufgebaut werden könnten. Diese vorhandene Versuchsanlage kann mit geringem Aufwand für die Untersuchung der Beschichtung von flexiblen Foliensubstraten eingesetzt werden. Ziel ist es, das anlagentechnische Know-how für die Beschichtung nicht nur von flexiblen pin-Solarzellen zu erlangen, sondern diese Technologie für weitere Bereiche, wie z.B. den medizinischen Bereich, Labels usw. zu nutzen.