Das Projekt fasst Entwicklungstaetigkeiten zusammen, die zu einer wirtschaftlichen Fertigung von CMOS-IC's der 0,7 Mikrometer-Generation erforderlich sind. Die Projektbereiche dieser Taetigkeiten sind: Anlagen und Geraete der Chipherstellung, Maskenherstellung und Automatisierung. Insbesondere bei der Verbesserung der Fertigungsmittel fuer die Chipherstellung wird auf die Verringerung der Schadstoffemissionen aus Prozessgasen und -chemikalien Wert gelegt. Die Minimierung des Medienverbrauchs ist ebenfalls ein Anliegen dieses Projektes.