Das Projekt "Umwelt- und Gesundheitsauswirkungen der Herstellung und Anwendung sowie Entsorgung von Bauelementen und integrierten Schaltungen der Mikro- und Optoelektronik, Phase I" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Forschungszentrum Karlsruhe GmbH Technik und Umwelt, Institut für Technikfolgenabschätzung und Systemanalyse (ITAS) durchgeführt. Im Rahmen dieser Studie sollen die Umwelt- und Gesundheitsauswirkungen der Herstellung, Nutzung und Entsorgung von Bauelementen der Mikroelektronik und mit ihnen bestueckten Geraeten umfassend analysiert und bewertet werden. Alternative Verfahren fuer die einzelnen Herstellungs- und Entsorgungsschritte sollen in die Untersuchung einbezogen werden. In der Phase I ist der Kenntnisstand aufzuarbeiten und es sind die bisher angelaufenen Forschungs- und Untersuchungsprogramme darzustellen. In einer Problemuebersicht sind Vorschlaege fuer weitere Untersuchungen zu machen.
Das Projekt "Umwelt- und Gesundheitsauswirkungen bei der Herstellung und Anwendung sowie Entsorgung von Bauelementen und integrierten Schaltungen der Mikro- und Optoelektronik" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Fraunhofer-Institut für Festkörpertechnologie durchgeführt. Das Nationale Institut for Ocupational Safety and Health (NIOSH) veroeffentlichte 1985 eine Arbeitsplatzstudie der Mikroelektronik in USA. Die Semiconductor Industry Association startete 1989 eine weitere Arbeitsplatzstudie in den USA. Die Bundesanstalt fuer Arbeitsschutz veroeffentlichte 1990 Die Stoffbelastung in der Mikroelektronik in der BRD. Die IG-Metall veroeffentlichte einen Werkstattbericht Gesundheitsbelastungen in der Mikrochip-Industrie 1992. Ziel der vorliegenden Studie war die gesamtliche Betrachtung der Entsorgung von Mikroelektronik-Schaltkreisen und Bauelementen bzgl. Gesundheits- und Umweltrelevanz. Der methodische Ansatz erfasste Einsatz-, Hilfs- und Reststoffe waehrend der Herstellprozesse sowie Inhaltsstoffe von Produkten. Stoffe dieser Art sind fuer Scheibenherstellung, IC-Herstellung, Leiterplatten- und Informations- und Kommunikation erfasst. Mit einem vorbereiteten aber nicht vorliegenden quantitativen Ansatz koennen die qualitativen Angaben kuenftig ergaenzt werden.
Das Projekt "Produktionstechnologieforschung fuer die Vorder- und Ruckseiten-IC Produktion" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Siemens AG durchgeführt. Das Projekt fasst Entwicklungstaetigkeiten zusammen, die zu einer wirtschaftlichen Fertigung von CMOS-IC's der 0,7 Mikrometer-Generation erforderlich sind. Die Projektbereiche dieser Taetigkeiten sind: Anlagen und Geraete der Chipherstellung, Maskenherstellung und Automatisierung. Insbesondere bei der Verbesserung der Fertigungsmittel fuer die Chipherstellung wird auf die Verringerung der Schadstoffemissionen aus Prozessgasen und -chemikalien Wert gelegt. Die Minimierung des Medienverbrauchs ist ebenfalls ein Anliegen dieses Projektes.