Das Projekt "In-situ Optimierung und Qualitaetskontrolle von Halbleitern zur Anwendung in Solarzellen" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Hahn-Meitner-Institut Berlin GmbH, Bereich Physikalische Chemie durchgeführt. Es sollen Moeglichkeiten zur Optimierung und Qualitaetskontrolle von Halbleitern und Halbleiterbauelementen fuer photovoltaische Anwendungen untersucht werden. Als Modellsysteme fuer dieses Vorhaben sind die Plasma-Deposition von amorphen Siliziumschichten sowie verschiedene Arbeitsschritte bei der Herstellung von Bauelementen aus ein- und polykristallinem Silizium vorgesehen. Zur Charakterisierung wird die in der Arbeitsgruppe entwickelte Mikrowellenphotoleitfaehigkeitsmethode eingesetzt. Fuer dieses kontaktlose, in-situ anwendbare Messverfahren soll erarbeitet werden, wie anhand einer in-situ gewonnenen Messgroesse eine gezielte Optimierung und Qualitaetskontrolle zu erreichen ist. Mit einer Reihe von Messmethoden soll dazu zunaechst die Korrelation der gewonnenen Messgroesse mit der Qualitaet des spaeteren Halbleiter-Bauelements untersucht werden. Darauf aufbauend wird eine Verfahrensstrategie entwickelt, die es ermoeglicht, die Messsignale in Realzeit auszuwerten und eine Aenderung derjenigen Prozessparameter einzuleiten, die eine Qualitaetsverbesserung herbeifuehren. Zur Realisierung dieser Aufgabe ist es notwendig, eine rechnerkontrollierbare Anlagen- und Prozesssteuerung zu entwickeln.
Das Projekt "Nachweis von Radon und Radonfolgeprodukten" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Technische Universität Dresden, Fachrichtung Physik, Institut für Strahlenschutzphysik durchgeführt. Teil I : Anwendung von Elektret-Ionisationskammern zum Radon-Nachweis Durch Simulation der Erzeugung, des Transports und der Sammlung von strahlungsinduzierten Ladungstraegern in Elektret-Ionisationskammern sowie der Ladungsinfluenz zur Erzeugung eines Messsignals in einer Auswertungssonde konnte das Ansprechvermoegen zur Bestimmung der Radon-Konzentration ermittelt werden. Der Vergleich mit experimentell erhaltenen Ergebnissen lieferte gute Uebereinstimmung. Die Berechnung der Ladungsverteilung auf der Elektretoberflaeche als Funktion der Kammergeometrie und der RadonExposition ermoeglichte eine Bewertung kommerziell verfuegbarer Elektret-Ionisationskammern sowie die Ableitung von Vorschlaegen fuer deren weitere Optimierung. Ergaenzt wurden diese Untersuchungen durch eine detaillierte Analyse der Einfluesse verschiedener Umweltparameter, wie Temperatur und Luftfeuchtigkeit. Teil II : Entwicklung eines Verfahrens zur Langzeitmessung der potentiellen Alphaenergiekonzentration Das entwickelte Verfahren beruht auf der separaten Bestimmung der Aktivitaetskonzentration des Radon-Folgeproduktes 214Po. Hierzu wurden elektrochemisch geaetzte Kernspurdetektoren aus CR-39 eingesetzt, bei denen durch Realisierung eines optimierten Aetzregimes ein geeignetes Energiefenster in der Detektoransprechfunktion erzeugt wurde. Die Grenzen des Energiefensters muessen so gewaehlt werden, dass der Plateout von Radon-Folgeprodukten auf der Detektorobertlaeche das Messergebnis nicht verfaelscht. Bestrahlungen mit Alpha-Teilchen variabler Energie und Einfallsrichtung ermoeglichten die Aufstellung einer Responsematrix, auf deren Grundlage das Detektoransprechvermoegen bestimmt werden kann.