Das Projekt "Teilvorhaben: Erforschung einer MOCVD-Technologie für die industrielle Herstellung von GaN-basierten HV-Bauelementen für die Leistungselektronik" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von AIXTRON SE durchgeführt. 1. Vorhabenziel Ziel des Teilvorhabens ist die Erarbeitung einer MOCVD Anlagen- und prozesstechnologie für die Abscheidung von HEMT-Strukturen auf Si-Substraten in Multiwafer Anlagen. 2. Arbeitsplanung Der heutige Stand der GaN-Produktionstechnik ist die MOCVD von komplexen Bauelementstrukturen in 42x2 Zoll Planetenreaktoren. Nach der erfolgreichen Erforschung von MOVCD-Prozessen auf 14x100 mm Si-Substraten in einem neuen, vorhandenen MOCVD Reaktor, wird auch die Abscheidung auf 8x150 mm bzw. 5x200 mm etabliert und auf bis zu 1x300 mm Substraten evaluiert. Auf der Basis der erzielten Prozessergebnisse werden die Reaktoren hinsichtlich Reproduzierbarkeit der Ergebnisse und Ausbeute an 'guten' Wafern pro Abscheidung optimiert werden.
Das Projekt "MOCVD4.1 - Optimierte Produktion (MOCVD 4.0) von Verbindungshalbleitern für erhöhte Wirkungsgrade in der Energieversorgung" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von AIXTRON SE durchgeführt. Das vordringliche Ziel von AIXTRON ist die Erhöhung der Produktionstauglichkeit der MOCVD-Technologie für Anwendungen in der Leistungselektronik, in der Photovoltaik, sowie in der Nano-Photonik und Sensorik. Die Technologie zielt auf die Märkte Energie und eMobility. Eine Verbesserung der Technologie und der Effektivität ist nötig, um die internationalen Anforderungen einer vielseitigen, hochflexiblen Schlüsseltechnologie mit häufig wechselnden Kundenanforderungen, Prozessen, Produkten und Materialsystemen zu erfüllen. Dies soll erreicht werden durch Industrie 4.0 Ansätze also mit vernetzten und automatisierten Maschinenkonzepten, intelligenter Software, Analysen am Rande der Nachweisgrenzen und präziser und lernender Prozesskontrolle. Für die unterschiedlichen Anwendungen und Materialsysteme sind aufgrund der unterschiedlichen physikalischen Eigenschaften hochspezialisierte Lösungsansätze nötig. Elektronische Leistungswandler und die konzentrierende Photovoltaik (CPV)-Technologie dienen als Demonstrator. In einem produktionsnahen Umfeld werden die Lösungsansätze realitätsnah kritisch getestet und bewertet.