Das Projekt "Entwicklung und Optimierung von Prozessen zur Herstellung hocheffizienter großflächiger Si-Dünnschicht-PV-Module" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von RWE SCHOTT Solar GmbH durchgeführt. Der vorliegende Bericht beinhaltet grundlegende Arbeiten zur Weiterentwicklung der a-Si PV-Technologie. Er behandelt die Themen: Entwicklung von PECVD-Prozessen auf großen industrierelevanten Flächen, Verbesserung und Optimierung von Strukturierungsverfahren für hohe Flächenausnutzung, Beschleunigung und Reproduzierbarkeit der Einzelprozesse sowie Langzeitstabilität von verkapselten Modulen. Der Nachweis, dass a-Si Dünnschichtmodule höhere Erträge im Vergleich zu anderen PV-Technologien erbringen kann, wurde erbracht. Eine grundlegende Entscheidung wurde getroffen für die zukünftige Generation der PECVD-Anlage, eine Einkammerlaboranlage der Fa. Unaxis mit 1,4m2 Substratgröße wurde in Betrieb genommen. Entwicklungsarbeiten wurden begonnen.