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Teilvorhaben: Entwicklung amorpher und mikrokristalliner Halbleiter mittels VHF PECVD und Vergleich mit Hot-Wire CVD

Das Projekt "Teilvorhaben: Entwicklung amorpher und mikrokristalliner Halbleiter mittels VHF PECVD und Vergleich mit Hot-Wire CVD" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von Technische Universität Dresden, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik durchgeführt. In diesem Verbundprojekt sollen neuartige Elektrodenmaterialien entwickelt werden, die sich durch drei wesentliche Materialeigenschaften auszeichnen: Hohe Passivierwirkung, sehr gute optische Eigenschaften und elektrische Leitfähigkeit. Es werden Elektroden entwickelt, die auf dielektrischen Schichten basieren und mit der PERC Anlagentechnik und Prozessführung kompatibel sind. Weiterhin werden Elektroden mit verbesserter Transparenz und besserer passivierender Wirkung für a Si:H/c Si Heterokontaktsolarzellen angestrebt. Für TUD: Ziel des Teilvorhabens ist die Entwicklung amorpher und mikrokristalliner Halbleiter mittels VHF PECVD und Vergleich mit Hot-Wire CVD. Es werden drei wissenschaftliche Ansätze verfolgt. Zum einen sollen heutige dielektrische Passivierungsschichten durch Dotierung und Einführung von Laminatstrukturen weiterentwickelt werden. Im zweite Ansatz werden amorphe und mikrokristallinen Halbleitern mit hohen Bandlücken (a SiOx, a SiC und Mikro c SiOx) entwickelt. Um die Passivierungswirkung dieser Materialien weiter zu erhöhen, werden im dritten Ansatz neue Abscheideverfahren mit extrem geringer Grenzflächenschädigung für Heterokontakt-Solarzellen entwickelt. Für die drei Ansätze werden zunächst die neue Prozessanlagentechnik und die entsprechenden Prozesse entwickelt. Danach findet die Materialentwicklung und abschließende die Demonstration und Verifikation in funktionierenden Solarzellen statt.

Teilvorhaben FAP GmbH: Entwicklung einer Hot-Wire Linienquelle und einer PECVD Abscheidung mit Plasmafrequenzen bis 200 MHz

Das Projekt "Teilvorhaben FAP GmbH: Entwicklung einer Hot-Wire Linienquelle und einer PECVD Abscheidung mit Plasmafrequenzen bis 200 MHz" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von FAP Forschungs- und Applikationslabor Plasmatechnik GmbH Dresden durchgeführt. In diesem Verbundprojekt sollen neuartige Elektrodenmaterialien entwickelt werden, die sich durch drei wesentliche Materialeigenschaften auszeichnen: hohe Passivierwirkung, sehr gute optische Eigenschaften und elektrische Leitfähigkeit. Es werden Elektroden entwickelt, die auf dielektrischen Schichten basieren und mit der PERC Anlagentechnik und Prozessführung kompatibel sind. Weiterhin werden Elektroden mit verbesserter Transparenz und besserer passivierender Wirkung für a-Si:H/c-Si Heterokontaktsolarzellen angestrebt. FAP: Ziel des Teilvorhabens ist die Entwicklung einer Hot-Wire Linienquelle und einer PECVD Abscheidung mit Plasmafrequenzen bis 200 MHz für diese Aufgabenstellung. Es werden drei wissenschaftliche Ansätze verfolgt. Zum einen sollen heutige dielektrische Passivierungsschichten durch Dotierung und Einführung von Laminatstrukturen weiterentwickelt werden. Im zweiten Ansatz werden amorphe und mikrokristalline Halbleiter mit hohen Bandlücken (a-SiOx, a-SiC und Mikro c-SiOx) entwickelt. Um die Passivierungswirkung dieser Materialien weiter zu erhöhen, werden im dritten Ansatz neue Abscheideverfahren mit extrem geringer Grenzflächenschädigung für Heterokontakt-Solarzellen entwickelt. Für die drei Ansätze werden zunächst die neue Prozessanlagentechnik und die entsprechenden Prozesse entwickelt. Danach finden die Materialentwicklung und abschließend die Demonstration und Verifikation in funktionierenden Solarzellen statt.

Teilvorhaben: 'Entwicklung und Demonstration einer Blitzlichtsinterung'

Das Projekt "Teilvorhaben: 'Entwicklung und Demonstration einer Blitzlichtsinterung'" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von SOLAYER GmbH durchgeführt. In diesem Projekt sollen neuartige Elektrodenmaterialien entwickelt werden, die sich durch drei wesentliche Materialeigenschaften auszeichnen: Hohe Passivierwirkung, sehr gute optische Eigenschaften (Transmission/Reflexion) und elektrische Leitfähigkeit. Diese Elektroden ermöglichen eine substanzielle Weiterentwicklung kristalliner Hocheffizienzsolarzellen (etwa größer als 20 %). Es werden Elektroden entwickelt, die auf dielektrischen Schichten basieren und mit der PERC Anlagentechnik und Prozessführung kompatibel sind. Ziel ist eine Verringerung der Kontaktverluste und ein verschlankter Prozessfluss durch die Einsparung zweier Kontaktierungs-Prozessschritten in PERC Solarzellen. Weiterhin werden Elektroden mit verbesserter Transparenz und besserer passivierenden Wirkung für a Si:H/c Si Heterokontaktsolarzellen angestrebt. Mit beiden Elektrodensystemen sollen der Solarzellenwirkungsgrad um mindestens 1 % gesteigert werden. Dies wird anhand kompletter Solarzellen demonstriert. Das Projekt gliedert sich in drei Phasen: In der ersten Phase werden neue Prozesse für die Materialabscheidungen entwickelt. Zeitgleich beginnt in der zweiten Phase die eigentliche Materialentwicklung wobei zunächst bestehende Prozesse eingesetzt werden. Sobald die Prozessentwicklung in der ersten Phase abgeschlossen ist, werden die Materialien zur vollen Funktionalität ausentwickelt. In der dritten Phase werden die Elektroden in eine laufende Solarzellenpilotlinie für HJT und PERC Solarzellen integriert und das Einsparungspotential demonstriert. Phase 1: Prozessentwicklung 1.1 Entwicklung Hot-Wire CVD 1.2 Entwicklung Blitzlichtsinterung Phase 2: Materialentwicklung 2.1 Entwicklung dielektrische Nanolaminate 2.2 Entwicklung dielektrische Nanolaminate (low-T) 2.3 a-SiOx, a-SiC und Mikro c-SiOx (VHF PECVD) 2.4 a-SiOx, a-SiC und Mikro c-SiOx (VHF PECVD vs. Hot-Wire CVD) Phase 3: Materialdemonstration in Solarzellen 3.1 Demonstration Prototyp PERC Solarzellen 3.2 Demonstration Prototyp HJT Solarzellen.

Teilvorhaben: 'Entwicklung und Verifikation dielektrischer Nanolaminate'

Das Projekt "Teilvorhaben: 'Entwicklung und Verifikation dielektrischer Nanolaminate'" wird vom Umweltbundesamt gefördert und von NaMLab gGmbH durchgeführt. In diesem Verbundprojekt sollen neuartige Elektrodenmaterialien entwickelt werden, die sich durch drei wesentliche Materialeigenschaften auszeichnen: Hohe Passivierwirkung, sehr gute optische Eigenschaften und elektrische Leitfähigkeit. Es werden Elektroden entwickelt, die auf dielektrischen Schichten basieren und mit der PERC Anlagentechnik und Prozessführung kompatibel sind. Weiterhin werden Elektroden mit verbesserter Transparenz und besserer passivierender Wirkung für a Si:H/c Si Heterokontaktsolarzellen angestrebt. Ziel des Teilvorhabens ist die Entwicklung der benötigten Nanolaminate und deren Verifikation. Es werden drei wissenschaftliche Ansätze verfolgt. Zum einen sollen heutige dielektrische Passivierungsschichten durch Dotierung und Einführung von Laminatstrukturen weiterentwickelt werden. Im zweite Ansatz werden amorphe und mikrokristallinen Halbleitern mit hohen Bandlücken (a SiOx, a SiC und Mikro c SiOx) entwickelt. Um die Passivierungswirkung dieser Materialien weiter zu erhöhen, werden im dritten Ansatz neue Abscheideverfahren mit extrem geringer Grenzflächenschädigung für Heterokontakt-Solarzellen entwickelt. Für die drei Ansätze werden zunächst die neue Prozessanlagentechnik und die entsprechenden Prozesse entwickelt. Danach findet die Materialentwicklung und abschließende die Demonstration und Verifikation in funktionierenden Solarzellen statt.

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